4JETs TOPAZ G
SMART WINDOW STRUKTURIERUNG

Hochgeschwindigkeits-
bearbeitung für die Herstellung von Smart Windows

Unsere TOPAZ G ist ein maßgeschneidertes System zur schichtseitigen Strukturierung von TCO-Elektroden auf Smart Windows mit hohem Durchsatz und sehr hoher Auflösung.

Regelung eines kleinen Fokus

Zunächst ist es wichtig zu erwähnen, dass die zu strukturierende Smart-Window-Glasscheibe eine Länge von mehr als 3 m hat, ihre Dicke beträgt dabei aber nur etwa 1 mm. Eine noch größere Herausforderung an die Strukturierung ist die Tatsache, dass die zu erzeugende Strukturbreite teilweise weniger als 10 µm betragen soll, mit einer Gesamttoleranz von weniger als 2 µm über diese große Glasscheibe. Nur so ist sichergestellt, dass die Struktur für das menschliche Auge unsichtbar ist. Diese Strukturbreite hat zur Folge, dass die theoretische Tiefenschärfe des Laserstrahls bei einer Spotgröße von 10 µm (1/e²) unter 150 µm liegt.

Um diesen Herausforderungen gerecht zu werden, wird die Glasscheibe auf einem großen, ebenen Granittisch fixiert. Darüber hinaus wird die Topologie des Granittisches bestimmt und der Fokus jedes Strukturierungskopfes während der Strukturierung entsprechend eingestellt.

Dies gewährleistet langfristig stabile Strukturierungsbedingungen für eine nachhaltige Qualität des Endprodukts. Denken Sie daran, das Endprodukt ist ein Fenster und das menschliche Auge ist nicht leicht zu täuschen.

Das Herz der TOPAZ G

Der erforderliche Durchsatz der TOPAZ G wird durch zwei Aspekte erreicht, zum einen durch Parallelisierung und zum anderen durch on-the-fly scanning. Das parallele Scannen wird mit 5 einzelnen Bearbeitungsköpfen durchgeführt. Diese sind sowohl im eigenen Arbeitsbereich, als auch zueinander sowie mit dem sie bewegenden Achssystem extrem gut kalibriert. On-the-fly bzw. fliegendes Scannen bedeutet, dass der Laserstrahl von einem 2D-Scanner mit hoher Geschwindigkeit abgelenkt wird, während das Achsensystem den Strukturierungskopf bewegt. Mit dieser Modus wird ein unübertroffener Durchsatz im Vergleich zu herkömmlichen Step-and-Repeat-Ansätzen erreicht.

Genauigkeit und Durchsatz auf der nächsten Stufe für eine skalierbare und wirtschaftliche Fertigung von Smart Windows. Die TOPAZ G - ein Maßstab für das großflächige Patterning.

Spezifikation

DünnschichtsystemeTransparente leitfähige Oxide (TCO wie FTO, ITO etc.), aktive Schichten
Patterning resolution<  10 µm 
Bearbeitungablative Strukturierung von der Filmseite
Scanning on-the-flymit bis zu 5 parallelen Scanköpfen
Substratdimension1.500 x 3.050 mm², andere auf Anfrage
Glasdickeim Bereich 1 mm 
Bearbeitungsbereich (x, y)identisch mit Substratgröße
Achsgeschwindigkeitbis zu 500 mm/s 
Positioniergenauigkeit
im Temperaturbereich 22 ± 2C°
+/- 15 µm
Absaugungvorhanden
MES interfacevorhanden
Aufstellfläche3.000 m x 4.700 m
Gewichtca. 14 t
Be- und Entladenautomatisch

Anfrage

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